Spectromètre Moduli | RF Spectrometer

Modules | Spectromètre RF Détection non invasive des défauts et surveillance de l'état de la chambre Le spectromètre RF est un détecteur de radiofréquence (RF) qui surveille directement l'état électrique d'un plasma de l'extérieur de la chambre à plasma. Il est conçu pour la détection de défauts sur les outils de production sans avoir besoin d'un capteur en ligne sur le trajet RF. Il a été prouvé qu'il détecte les fuites d'air, le déplacement des plaquettes et d'autres défauts graves du plasma. Le spectromètre RF est un détecteur de radiofréquence (RF) qui surveille directement l'état électrique d'un plasma de l'extérieur de la chambre à plasma. Il est conçu pour la détection de défauts sur les outils de production sans avoir besoin d'un capteur en ligne sur le trajet RF. Il a été prouvé qu'il détecte les fuites d'air, le déplacement des plaquettes et d'autres défauts graves du plasma.