Appareil de mesure de tension Octiv Suite 2.0 VI Probe

de courant ACd'impédanceRF

L'Octiv Suite RF diagnostic (VI Probe) est un système de diagnostic en ligne de tension, courant, phase, harmoniques et plasma RF. Il peut mesurer tous les paramètres de la puissance RF, les décomposer en leurs composantes individuelles et reconstruire simultanément la forme d'onde de plusieurs fréquences fondamentales. Ce système de pointe peut également mesurer les paramètres du plasma tels que le flux ionique en utilisant l'électrode RF comme capteur. La suite Octiv est vraiment dans une classe à part lorsqu'il s'agit de fournir de l'énergie dans un réacteur à plasma. L'Octiv Suite mesure la tension, le courant, la phase, l'impédance et les harmoniques et les mesures peuvent être visualisées depuis un PC ou directement sur le compteur. Le système de diagnostic Octiv Suite RF (VI Probe) permet de mesurer un certain nombre de fréquences fondamentales et d'extraire toutes les informations harmoniques de chaque paramètre mesuré simultanément tout en reconstruisant plusieurs formes d'onde La suite Octiv est une technologie de pointe unique qui permet aux scientifiques d'évaluer les interdépendances complexes des paramètres RF dans des domaines tels que la performance des procédés plasma. Octiv Suite mesure et affiche la forme d'onde complexe. Le logiciel extrait et analyse les paramètres RF clés tels que la tension, le courant et la phase de tous les composants complexes qui composent la forme d'onde. Le diagnostic RF Octiv Suite (VI Probe) peut être utilisé pour diagnostiquer les paramètres du plasma tels que le flux ionique, la résistance du plasma et l'impédance non linéaire de la gaine. L'Octiv Suite caractérisera une charge non linéaire avec de multiples fréquences fondamentales, des composantes harmoniques élevées et d'intermodulation.