La sonde Octiv Poly VI Probe est un système de mesure de tension, de courant et de phase RF multi-fréquence en ligne. Il peut mesurer simultanément plusieurs fréquences fondamentales et ses harmoniques et a une précision de 1% avec 1μs résolution temporelle. Le VI Probe peut détecter et mesurer jusqu'à 5 fréquences fondamentales et toutes leurs composantes (tension, courant, angle de phase et harmoniques) en même temps.
La sonde VI mesure la tension, le courant, la phase, l'impédance et les harmoniques et les mesures peuvent être visualisées depuis un PC ou directement sur le compteur.
Le système Octiv Poly permet aux utilisateurs de mesurer un certain nombre de fréquences fondamentales et d'extraire simultanément toutes les informations harmoniques de chaque paramètre mesuré.
La sonde Octiv Poly VI Probe est un capteur d'impédance et de puissance de précision qui se trouve normalement dans une unité d'après-match. Il est utilisé pour mesurer l'impédance de charge dans des applications telles que les procédés plasma. Il surveille la tension, le courant et la phase de multiples fréquences fondamentales et leurs harmoniques. La sonde Octiv Poly VI Probe est idéale pour la surveillance précise des systèmes plasma bi-fréquence et trifréquence.
L'Octiv Poly a une gamme de puissance de 0 à 12kW et est calibré à 5 fréquences différentes : 2MHz | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz. Le système est agile en fréquence et peut détecter d'autres bandes de fréquences.
L'Octiv Poly est un capteur de haute précision, haute résolution et unité d'acquisition de données à grande vitesse combinée. L'Octiv Poly est le seul capteur de puissance et d'impédance de précision avec une résolution de micro seconde dans les applications pulsées. L'Octiv Poly utilise la technologie unique et brevetée de la sonde VI, conçue pour un fonctionnement fiable dans des applications multi-fréquences simultanées avec réglage agile de la fréquence.
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