Sonde de Langmuir Plato Spatial

de densité plasmatique

Plato Spatial Probe est une sonde de Langmuir pour le plasma de dépôt. Il balaye à travers la partie d'un plasma pour mesurer l'uniformité des paramètres de plasma à différents emplacements. Il est conçu pour fonctionner dans des plasmas de dépôt même lorsqu'une couche d'isolation est déposée sur la surface de sonde. Les paramètres de plasma de mesures de Plato Probe tels que la densité de plasma, la densité de courant d'ion et la température d'électron à différents emplacements à travers le plasma même lorsque le plasma a un taux de dépôt élevé. Il est maintenant possible de mesurer l'uniformité des paramètres de plasma dans un plasma déposant une couche d'isolation. Plato Spatial Probe vient complet avec un système linéaire automatisé d'entraînement qui mesure les paramètres principaux du plasma à différents emplacements à l'intérieur d'un réacteur de plasma. Plato Spatial Probe est la première sonde de Langmuir sur le marché qui peut fonctionner dans un plasma avec des taux de dépôt élevés et principale à son succès est sa capacité de mesurer exactement les paramètres principaux de plasma par une couche d'isolation plusieurs microns profondément. Le dépôt des couches d'isolation n'affecte pas l'exactitude de la caractérisation du plasma de la sonde.