Sonde de Langmuir Spatial

de potentiel flottantde potentiel plasmatique

La sonde spatiale Langmuir utilise un entraînement linéaire automatisé pour balayer un plasma et prendre des mesures des paramètres du plasma à différents endroits. Le profilage spatial du plasma peut aider à résoudre les problèmes d'uniformité. La sonde spatiale de Langmuir mesure le profil spatial du plasma comme : la densité du plasma, le potentiel flottant, le potentiel du plasma, la densité du courant ionique et la fonction de distribution de l'énergie électronique. Notre système utilise la théorie de la sonde la plus à jour qui soit, s'appuyant sur Orbital Motion Limited et, à mesure que les régimes de pression changent, sur Allen Boyd Reynolds pour tenir compte des collisions. La sonde Langmuir équipée d'un système d'entraînement linéaire permet de caractériser les paramètres du plasma à différents endroits dans un réacteur à plasma. La sonde spatiale de Langmuir est l'instrument clé utilisé pour mesurer les paramètres internes du plasma tout en utilisant un entraînement linéaire automatisé pour balayer la majeure partie du plasma. Les paramètres clés mesurés sont la densité électronique, la densité ionique, la température électronique, le potentiel plasma, le potentiel flottant et la fonction EEDF (electron energy distribution function). La sonde spatiale Langmuir fournit des mesures de caractérisation de plasma en DC, RF, micro-ondes, plasma continu et pulsé. La sonde spatiale de Langmuir analyse les trajectoires d'ions et d'électrons pour obtenir des mesures précises des paramètres du plasma dans un large éventail d'applications plasma. La sonde spatiale Langmuir est la sonde Langmuir la plus rapide et la plus fiable au monde (résolution temporelle 12,5ns). En plus de la rapidité et de la fiabilité. La sonde Langmuir Probe fournit l'analyse de données la plus avancée et la plus fiable, entièrement automatisée, en temps réel.