Instrument de caractérisation multi-capteur Vertex

de plasmade distribution d'énergie ionique

Le Vertex Multi Sensor mesure la distribution de l'énergie ionique en fonction du rapport d'aspect frappant une surface à l'intérieur d'un réacteur à plasma depuis plusieurs emplacements pour analyser l'uniformité des interactions ioniques sur un substrat. L'uniformité de l'énergie ionique, du flux d'ions et de la tension de polarisation est également mesurée à partir de plusieurs endroits. L'angle des ions frappant le fond d'un élément peut être déterminé à partir de la distribution de l'énergie ionique en fonction du rapport d'aspect qui peut être mesuré sur un substrat pour contrôler l'uniformité et donc la qualité du profil de gravure d'un côté à l'autre du substrat. Le Vertex Multi Sensor mesure l'uniformité de la distribution de l'énergie ionique en fonction du rapport d'aspect. L'uniformité de l'énergie ionique, l'uniformité du flux ionique, l'uniformité des ions négatifs et la tension de polarisation à une surface à l'intérieur d'un plasma sont fournies. Le Vertex Multi Sensor est de plus en plus utilisé dans de nombreuses applications de l'industrie et de la recherche où le profil des caractéristiques est intéressant, comme la gravure au plasma pour les substrats plus grands, les faisceaux d'ions et la pulvérisation par plasma. Le Vertex Multi Sensor aide les utilisateurs à confirmer les modèles, à développer de nouveaux procédés et expériences qui utilisent le plasma et nécessitent un processus uniforme, la conception d'outils plasma, la caractérisation du plasma et la recherche. Le Vertex Multi Sensor est logé dans une unité électronique montée en rack 19", un passage à vide et un support de capteur situé n'importe où dans une chambre à plasma ou à faisceau. L'emplacement peut même être une électrode alimentée en RF ou DC et peut utiliser une sonde bouton remplaçable. L'unité électronique se connecte à un ordinateur portable ou à un PC et utilise la suite logicielle intelligente Vertex.