Instrument de caractérisation à capteur unique Vertex

de plasmade distribution d'énergie ionique

Le Vertex Single Sensor mesure la distribution de l'énergie ionique en fonction du rapport d'aspect frappant une surface à l'intérieur d'un réacteur à plasma. Cet instrument unique de caractérisation par plasma peut également mesurer l'énergie ionique, le flux ionique et la tension de polarisation. L'angle des ions frappant le fond d'un élément peut être déterminé à partir de la distribution de l'énergie ionique en fonction du rapport d'aspect qui permet aux utilisateurs de surveiller la qualité du profil de gravure à un endroit donné du réacteur à plasma. Le Vertex Single Sensor mesure la distribution de l'énergie ionique en fonction du rapport d'aspect, de l'énergie ionique, du flux ionique, des ions négatifs et du Vdc sur une surface dans un plasma. Le Vertex Single Sensor est de plus en plus utilisé dans de nombreuses applications dans l'industrie et la recherche, telles que la gravure au plasma, les faisceaux d'ions et la pulvérisation plasma pour la caractérisation du plasma et l'analyse des interactions plasma. Le Vertex Single Sensor permet à l'utilisateur de gagner un temps précieux dans la confirmation des modèles, le développement de nouveaux processus et les expériences utilisant le plasma, la conception d'outils plasma et la recherche sur le plasma. Le capteur simple Vertex est logé dans une unité électronique montée en rack 19", un passage à vide et un support de capteur situé n'importe où dans une chambre à plasma ou à faisceau. L'emplacement peut même être une électrode alimentée en RF ou DC et peut utiliser une sonde bouton remplaçable. L'unité électronique se connecte à un ordinateur portable ou à un PC et utilise la suite logicielle intelligente Vertex. Le Vertex Single Sensor dispose d'un certain nombre d'options de support allant de 50mm à 450mm et dépendra de l'application de l'utilisateur. Les utilisateurs peuvent sélectionner un capteur de 50 mm et déplacer physiquement le capteur pour le mesurer à différents endroits de la chambre.