Analyseur à capteur unique Semion

pour réacteur à plasmade processde champ retardant

Le capteur unique Semion est un analyseur d'énergie de champ retardateur (RFEA). Il est placé à n'importe quel endroit à l'intérieur d'un réacteur à plasma et mesure l'énergie des ions frappant une surface à l'aide d'un seul capteur de mesure. Cet analyseur de champ retardateur (RFA) est un diagnostic plasma fondamental pour mesurer la fonction de distribution d'énergie ionique ainsi que le flux ionique, les ions négatifs, la température et la tension de polarisation (Vdc). Le système Semion permet la surveillance in situ des processus, la confirmation des modèles, le développement de nouveaux processus et des applications de recherche en temps réel sur le site du substrat. Le Semion, parfois appelé analyseur de potentiel retardateur, mesure l'énergie ionique et produit la fonction de distribution d'énergie ionique (IEDF), le flux ionique, les ions négatifs, la température et le Vdc à la position du substrat dans un réacteur plasma. L'analyseur d'énergie de champ retardateur de Semion (RFEA) est largement utilisé dans de nombreux secteurs de l'industrie et de la recherche, tels que la gravure au plasma, les revêtements, la pulvérisation par plasma, le PECVD et le faisceau ionique. Le capteur unique Semion est un instrument de diagnostic plasma clé qui peut confirmer les modèles, faciliter le développement de nouveaux procédés et les expériences qui utilisent le plasma, la conception d'outils plasma et la recherche sur le plasma. L'analyseur d'énergie de champ à capteur unique retardateur Semion se compose d'un capteur à bouton-poussoir remplaçable monté dans un support de capteur qui se connecte à un passage à vide alimenté par une unité électronique montée en rack 19".