Système de métrologie pour wafers MESO™

pour semiconducteurs

Solution de métrologie MESO Le système de métrologie MESO est une solution unique qui permet de relever de nombreux défis dans le domaine de la métrologie optique. Les mesures en atelier permettent d'effectuer des tests de contrôle de la qualité et de contrôler le processus in situ de vos optiques plates, juste à côté de la chaîne de fabrication. Un instrument unique permet de mesurer à plusieurs longueurs d'onde différentes sans aberration chromatique et de caractériser toute la gamme de vos optiques sans perte de résolution. MESO™ regorge d'innovations : - Résolution de détection de front d'onde élevée améliorée par LIFT - Procédure POP en instance de brevet pour le test des optiques parallèles planes (minces) - La technologie propriétaire Spot Tracker™ permet une mesure absolue de l'inclinaison et du front d'onde. CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES Insensible aux vibrations Test de la longueur d'onde au moment de la conception Insensible aux réflexions de la surface arrière de l'échantillon APPLICATIONS MESO est l'outil d'essai idéal pour le contrôle de : Optiques parallèles Les écrans Filtres, dichroïques Miroirs Séparateurs de faisceaux Fenêtres Supports Cubes d'angle Cristaux Tiges, disques Plaquettes de verre Écrans Surfaces usinées Pare-brise Prismes Grandes lentilles Systèmes optiques Expandeurs de faisceau cARACTÉRISTIQUES DU SYSTÈME DE MÉTROLOGIE MESO Intégration horizontale ou verticale Zoom optique de 1,5'' (38,1mm) à 6'' (152mm) Longueur d'onde de test de 405 nm à 820 nm résolution de 680 x 500 points de phase temps d'acquisition minimum de 27us CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES Interface de contrôle à écran tactile Des procédures de test scénarisées guident l'utilisateur à travers toutes les étapes Contrôle automatisé d'un maximum de 4 longueurs d'onde intégrées Contrôle automatisé du diamètre du test Rapport d'essai automatisé complet Conformité à la norme ISO10110 Exportation de données multiformat