Miroir concave SHARPeR

à grande précision

SHARPeR est un projet Eurostars qui vise à développer une nouvelle plate-forme de métrologie automatisée de haute précision pour les composants optiques de très haute qualité nécessaires par exemple dans les lignes de faisceaux synchrotron, les systèmes de lithographie EUV et les télescopes. Les miroirs radiographiques à l'échelle du mètre seront caractérisés avec une précision d'erreur de pente meilleure que 50nrad rms. Le système comprendra trois éléments principaux : - Une plate-forme de mouvement très stable et reproductible avec des niveaux de rotation et d'inclinaison de l'extrémité - Un capteur de front d'onde de haute précision avec une précision absolue de λ/1000 rms - Un algorithme d'assemblage avancé pour des résultats de haute précision Le nouveau capteur de front d'onde Shack-Hartmann de très haute précision est intégré dans une tête optique couplée à une plate-forme de mouvement dédiée pour fournir des cartes 2D de pente/hauteur. La surface à tester peut être orientée horizontalement ou verticalement pour correspondre à la configuration réellement utilisée. Les clients peuvent spécifier des plages de déplacement longitudinales (sens de balayage) et transversales afin d'étendre la plage de caractérisation de la zone. En option, des axes de rotation et d'inclinaison peuvent être ajoutés au système de mouvement. Ceci permet à l'utilisateur de retourner automatiquement le composant optique testé sans perturber l'environnement de mesure par interférence manuelle.