Huntsman fabrique des amines quaternaires à faible teneur en métaux traces avec une gamme de structures pour les applications de nettoyage, de gravure ou de décapage des semi-conducteurs formulés. Les amines quaternaires Huntsman offrent une combinaison de faibles taux de corrosion et de facilité de manipulation ; elles sont disponibles à des concentrations plus élevées que le TMAH dans des solutions aqueuses et non aqueuses.
Développement et décapage de photorésistances
Gravure et élimination
Texturation photovoltaïque
Nettoyage après planarisation mécano-chimique
Faible teneur en métaux traces, haute pureté
Disponible en concentrations jusqu'à 45%
Disponible en solutions aqueuses et non aqueuses
E-GRADE® THEMAH est une solution aqueuse d'hydroxyde de tris (hydroxyéthyl) méthylammonium. Il s'agit d'un liquide clair, au pH élevé, à l'odeur douce et à la stabilité thermique. Le produit est principalement utilisé dans les formulations de décapage et de nettoyage dans les industries des semi-conducteurs, des écrans et des circuits imprimés.
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