Système de surveillance chimique CS-1000

de concentrationde mesure

Le CS-1000 fait progresser les processus de fabrication des semi-conducteurs en permettant la mesure simultanée de trois paramètres dans une solution chimique contenant des composants à faible concentration. HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. (ci-après "HORIBA Advanced Techno") a lancé son nouveau système de surveillance des solutions chimiques CS-1000. Les analyseurs de la série CS, qui mesurent en temps réel la concentration des produits chimiques utilisés dans les processus de fabrication des semi-conducteurs, répondent aux besoins de l'industrie depuis près de 30 ans, depuis leur lancement en 1995. Le CS-1000, système autonome aux performances améliorées, permet de détecter des produits chimiques spécifiques présents dans des solutions chimiques à l'état de traces (niveau ppm*1) sans aucun prétraitement, grâce à un algorithme unique (brevet en cours*2) qui combine l'analyse de l'absorbance*3, de la conductivité et du pH. En permettant la mesure simultanée de trois paramètres - concentration (jusqu'à huit composants chimiques), conductivité et pH - avec un cycle de mise à jour aussi court que six secondes*4, le CS-1000 contribue à l'avancement du contrôle de la qualité. Comme il ne nécessite qu'environ quatre heures*5 de maintenance tous les six mois, le CS-1000 contribue également à réduire les temps d'arrêt. En outre, le CS-1000 permet de mesurer simultanément deux solutions chimiques différentes, ce qui contribue à accroître la productivité. Avec la miniaturisation des semi-conducteurs, les produits chimiques utilisés pour les fabriquer sont devenus de plus en plus divers, comme ceux qui contiennent de nombreux composants ou des composants à l'état de traces. Cela nécessite un contrôle de qualité strict couvrant de multiples paramètres