Débitmètre massique thermique DZ-107

massiquepour gaz

HORIBA STEC, Co., Ltd. a annoncé le 14 janvier le lancement du DZ-107, dernier modèle de sa série de régulateurs de débit massique ultra-minces. Ce produit augmente le débit à pleine échelle*1 d'environ sept fois par rapport aux modèles précédents et atteint un débit massique maximal de 20 SLM*2, le plus élevé de sa catégorie*3, tout en conservant une largeur ultra-mince de 10 mm. Le DZ-107 augmente également la température maximale de fonctionnement de 45°C à 60°C pour prendre en charge les gaz utilisés dans les processus de fabrication de précision des semi-conducteurs de pointe. Ces améliorations fonctionnelles permettent non seulement de maintenir l'efficacité des modèles précédents dans les processus de gravure, mais aussi de prendre en charge les applications de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt par couche atomique (ALD) qui nécessitent un contrôle élevé du débit. Alors que les dispositifs semi-conducteurs modernes repoussent les limites de la miniaturisation et de l'intégration, les exigences en matière de régulateurs de débit massique dans des processus tels que la gravure et le moulage deviennent de plus en plus sophistiquées et complexes. Pour répondre à un large éventail de besoins, les fabricants d'équipements de fabrication de semi-conducteurs s'efforcent de trouver un équilibre entre la nécessité d'augmenter le nombre de régulateurs de débit massique et celle de miniaturiser les panneaux de gaz*4 qui installent ces dispositifs. HORIBA STEC a développé le DZ-107 afin d'améliorer pleinement les capacités du produit pour relever ce défi tout en conservant la largeur unique de 10 mm du DZ-100 lancé en 2020. Cela comprend l'augmentation du débit à pleine échelle et de la plage de température de fonctionnement, ainsi que la prise en charge d'EtherCAT®*5. *1 Débit maximum que l'appareil est calibré pour mesurer et contrôler avec précision *2 Le nombre standard de litres par minute (SLM) est une valeur numérique en litres qui indique