Débitmètre massique D700T

à pression différentiellepour gaz24 Vcc

Le D700T est le module de débit massique insensible à la pression le plus performant, conçu pour les processus critiques de fabrication de semi-conducteurs. Le D700T a adapté la technologie HORIBA CRITERION de mesure et de contrôle du débit basé sur la pression pour fournir des performances répétables et précises à la pointe de l'industrie. En outre, la particularité du D700T réside dans l'utilisation d'un algorithme breveté de contrôle de débit avancé avec une structure à double valve qui permet au système d'alimentation en gaz du client de résoudre de multiples problèmes. temps de stabilisation rapide ≤ 100 msec dans tous les cas (Set to Set, Step up et Step down) Performance insensible à la pression d'entrée et de sortie Détection avancée des défaillances pour diagnostiquer le décalage du capteur de pression, la fuite du siège de la vanne et le changement de précision du débit Répétabilité à 0,15 % de la P.S La meilleure spécification de précision est de 0,45 % P.S.* (standard : 0,8 % P.S.) Plage de température de fonctionnement élargie (15-60 °C)