Débitmètre massique thermique D700uF

pour gazen PFA

Le D700uF (Micro Flow) est conçu pour les applications à débit ≤ 5SCCM. le contrôle du débit ≤ 5SCCM a été très critique dans les procédés à haut rapport d'aspect Des composants spécialisés et une nouvelle norme interne de faible débit permettent un contrôle du débit de haute précision jusqu'à 0,025SCCM. Capacité de contrôle du débit jusqu'à 0,025SCCM Contrôle précis du gaz d'accord, amélioration de l'accordabilité du processus réponse à l'accélération ≤ 100ms et contrôle de la déviation de MFC à MFC Productivité élevée et performances accrues des procédés Métrologie des flux en interne Performance fiable de tous les produits fabriqués Fonction de surveillance de l'état Fournir plus de données internes pour une prédiction plus intelligente des défaillances Meilleure fermeture des vannes et résistance à la corrosion grâce à la buse en PFA Robustesse avec moins de risque de particules réduisant les temps d'arrêt et optimisant le rendement