Régulateur de débit massique GR-511F

pour gaz

Le GR-511F peut contrôler les gaz utilisés pour refroidir la face arrière des plaquettes qui sont fixées en position par un système de mandrin électrostatique. La stabilité et la précision du GR-511F le rendent idéal pour contrôler le débit d'hélium et d'argon dans les systèmes de refroidissement des plaquettes. CARACTÉRISTIQUES Contrôle de la pression avec plus de stabilité et de précision Capteur de débit massique (option) Compatible avec divers raccords Conformité RoHS Exemple d'application Dans l'exemple ci-dessous, le GR-511F contrôle les gaz utilisés pour refroidir la face arrière des plaquettes fixées en position par un système de serrage électrostatique.