Répartiteur par débit massique thermique FS-3000

Le FS-3000 combine le régulateur de débit massique (MFC) de HORIBA STEC et le MuCube (régulateur principal). En contrôlant le MFC à partir du MuCube équipé de l'algorithme de contrôle propriétaire de HORIBA STEC, le FS-3000 réalise un contrôle stable du fractionnement. L'algorithme de contrôle réalise un contrôle stable du fractionnement du débit en contrôlant les rapports de débit, tout en contrôlant la pression du flux supérieur du FS-3000 à l'aide de la technologie d'optimisation de contrôle originale de HORIBA STEC. De plus, même lorsque les rapports de fractionnement sont modifiés, l'algorithme de contrôle permet une réponse rapide au fractionnement du débit. Amélioration de l'extensibilité et des performances de maintenance Le FS-3000 peut diviser jusqu'à 15 canaux d'écoulement grâce à un traitement des signaux à grande vitesse. En cas de défaillance du MFC, le FS-3000 peut être réparé en remplaçant simplement l'esclave défaillant. Réponse flexible aux spécifications requises Le FS-3000 prend en charge une large gamme de gaz, y compris les gaz mixtes. En outre, le FS-3000 prend en charge les interfaces utilisateur RS-485 et DeviceNet.