Débitmètre massique thermique D700MG

massiquepour gaznumérique

Les processus critiques de fabrication des semi-conducteurs exigent en permanence des dispositifs de contrôle de flux de gaz de précision qui permettent à la fois l'innovation future et la transition du laboratoire à l'usine pour les mémoires et les dispositifs logiques de pointe. HORIBA propose le nouveau MFC D700MG basé sur la pression, le modèle supérieur compatible du D500MG pour répondre aux défis des clients. Caractéristiques Changement de configuration du gaz et de la pleine échelle sur l'outil *Uniquement EtherCAT Fournit la flexibilité nécessaire à l'optimisation du processus réponse à l'augmentation de 100 ms et contrôle de la déviation MFC à MFC Une productivité élevée et une meilleure performance des procédés Fonctionnalité MRMG pour les petits débits (Bin101 - Bin105) Apporte de la flexibilité aux procédés nécessitant un petit débit Meilleure fermeture de la vanne et meilleure résistance à la corrosion grâce à la buse en PFA Robustesse avec moins de risque de particules réduisant les temps d'arrêt et optimisant le rendement Fonction de surveillance de l'état Fournit davantage de données internes pour une prédiction plus intelligente des défaillances Éléments de sortie de la fonction de surveillance de l'état Compteurs de réglage du zéro du débit/de la pression Comptes de l'entraînement de la vanne Enregistrement de la pression max/min P0,P1,P2 Enregistrement de la température max/min du bloc Temps total au-dessus/au-dessous de la pression spécifiée Temps total au-dessus/au-dessous de la température spécifiée Durée totale de fonctionnement Temps total de contrôle Temps total d'écoulement (par instance d'étalonnage) Débit total (par instance d'étalonnage)