Un moniteur de concentration chimique à base de fibres optiques conçu pour mesurer les produits chimiques utilisés dans les processus de fabrication des semi-conducteurs tels que le nettoyage et la gravure.
Il est possible de mesurer des produits chimiques à haute température essentiels pour les processus humides de pointe. Il s'agit de solutions rapides, stables et peu encombrantes qui permettent d'optimiser et d'accroître la précision de la gestion des produits chimiques.
Mesure stable des produits chimiques à haute température
Grâce à des systèmes optiques et des procédures algorithmiques de qualité supérieure, il est désormais possible d'obtenir des mesures stables de solutions chimiques, même dans des conditions de température élevée (20-80℃), sans qu'il soit nécessaire de procéder à des ajustements ou à un traitement ultérieur. En outre, l'opérateur n'a pas besoin de refroidir les produits chimiques.
Jusqu'à six types de produits chimiques (produits chimiques ou gammes) sont pris en charge
Il est possible de mesurer jusqu'à six types de produits chimiques (produits chimiques ou gammes) avec un seul moniteur. Les types de produits chimiques ou de gammes souhaités peuvent être librement spécifiés pour la mesure, ce qui permet de répondre à un large éventail de besoins de mesure.
Mesure stable des produits chimiques à haute température
Grâce à des systèmes optiques et des procédures algorithmiques de qualité supérieure, il est désormais possible d'obtenir des mesures stables de solutions chimiques, même dans des conditions de température élevée (20-80℃), sans qu'il soit nécessaire de procéder à des ajustements ou à un traitement ultérieur. En outre, l'opérateur n'a pas besoin de refroidir les produits chimiques.
Jusqu'à six types de produits chimiques (produits chimiques ou gammes) sont pris en charge
Il est possible de mesurer jusqu'à six types de produits chimiques (produits chimiques ou gammes) avec un seul moniteur.
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