Le procédé de dépôt chimique en phase vapeur métal-organique (MOCVD) est largement utilisé dans la fabrication de DEL, de dispositifs optiques et d'autres composants. Les précurseurs liquides et solides sont introduits dans la chambre de réaction en contrôlant la température, la pression et le débit du gaz porteur (méthode par barbotage). La série IR-300 en ligne mesure et signale la concentration des précurseurs en temps réel, ce qui offre à l'utilisateur les avantages suivants :
Optimiser le contrôle du processus pour produire davantage de dispositifs de haute qualité
Améliorer le rendement des dispositifs et réduire les rebuts
Améliorer la reproductibilité
Savoir quand un bulleur doit être remplacé
Prolonger le MTTA
Réduire les interventions non planifiées
Réduire les déchets de précurseurs précieux
Surveillance en temps réel
Une réponse rapide et une excellente répétabilité permettent de suivre en temps réel les variations de la concentration de vapeur
Fonction de courbe d'étalonnage multiple (en option)
Permet de mesurer la concentration de jusqu'à 3 produits chimiques ou gammes de produits
Fonction multi-affichage
La fonction d'affichage multiple sur le dessus de l'unité IR-300 permet à l'utilisateur de vérifier sur place la surveillance de la concentration et l'état de la ligne d'alimentation en précurseurs
Fonction de communication
Connectivité par DeviceNet™, RS485 et communications analogiques
Conception simple et compacte
Avec une taille face à face de 124 mm, la conception compacte et sans orientation de montage de l'unité permet une intégration facile
Une source lumineuse à haute intensité optique et à longue durée de vie, associée à un traitement des signaux à grande vitesse, permet à la série IR-300 d'obtenir des réponses plus rapides et plus reproductibles aux changements de concentration des précurseurs. Ces caractéristiques permettent à l'utilisateur de comprendre le processus réel grâce à la mesure de la concentration en ligne et en temps réel.
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