Équipement de surveillance des gaz IR-400

L'IR-400 permet de surveiller en temps réel le point final du nettoyage de la chambre pendant le processus de dépôt. En optimisant le processus de nettoyage, l'IR-400 réduit le temps de nettoyage et la consommation de gaz. Cette réduction de l'utilisation de gaz de nettoyage entraîne une réduction des dommages à la chambre et augmente la durée de vie de tous les composants du système. Surveillance multigaz (SiF4 etCF4 pris en charge) (IR-422) Haute sensibilité Fonction de chauffage de la cellule de gaz jusqu'à 180°C Multi-affichage Communication analogique/numérique. Avantages de la surveillance en temps réel du point final avec l'IR-400 Réduction du temps de nettoyage des chambres Réduction de l'utilisation des gaz de nettoyage Processus de nettoyage répétable et prévisible Durée de vie plus longue des composants de la chambre Fiabilité et haute performance Absorptiométrie infrarouge non dispersive (NDIR) La méthode d'absorptiométrie infrarouge employée par la série IR-300 utilise le principe de l'absorption par les molécules de gaz de la lumière infrarouge émise par une source de lumière infrarouge. La sortie d'un échantillon ayant absorbé le gaz mesuré est comparée à une sortie de référence sans absorbance, et le résultat est converti en concentration de gaz. L'utilisation de cette méthode à double faisceau permet d'obtenir des résultats de mesure stables à long terme. Le système optique est composé d'une source lumineuse, d'une cellule à gaz et de détecteurs à double faisceau. La stabilité du détecteur à double faisceau a été prouvée sur une période de plus de 40 ans.