Contrôleur de pression de gaz GR-300

La série GR-300 permet de contrôler les gaz utilisés pour refroidir la face arrière des plaquettes fixées en position par un système de mandrin électrostatique. La stabilité et la précision du GR-300 le rendent idéal pour contrôler le débit d'hélium et d'argon dans les systèmes de refroidissement des plaquettes. Contrôle de la pression avec plus de stabilité et de précision Capteur de débit massique (option) Compatible avec divers raccords Conformité RoHS Dans l'exemple ci-dessous, la série GR-300 contrôle les gaz utilisés pour refroidir la face arrière des wafers qui sont fixés en position par un système de serrage électrostatique.