Évaporateur thermique LSC

de processpour liquides

Le système de cuisson HORIBA le plus vendu a été développé pour répondre aux exigences des industries de haute technologie d'aujourd'hui. Sans gaz porteur, le système peut fournir une vaporisation stable de matériaux tels que le TEOS (à un taux de 600 SCCM) et H2O (à un taux de 2 SLM). Pour faciliter l'accès, toute la maintenance de l'appareil peut être effectuée à partir de l'avant de l'unité. Caractéristiques Gazéification à haut débit Le LSC-A100 permet une gazéification stable de matériaux tels que le TEOS 600SCCM et le H2O 2SLM Toute la maintenance de l'appareil peut être effectuée à l'avant de l'unité Un PDA de type PocketPC (en option) peut être utilisé pour surveiller les conditions de fonctionnement du LSC et pour enregistrer et analyser les journaux d'opération.