Évaporateur thermique LSC

de processpour liquides

Le système de cuisson HORIBA le plus vendu a été développé pour répondre aux exigences des industries de haute technologie d'aujourd'hui. Sans gaz porteur, le système peut fournir une vaporisation stable de matériaux tels que le TEOS (à un taux de 600 SCCM) et H2O (à un taux de 2 SLM). Pour faciliter l'accès, toute la maintenance de l'appareil peut être effectuée à partir de l'avant de l'unité. Caractéristiques Gazéification à haut débit Le LSC-A100 permet une gazéification stable de matériaux tels que le TEOS 600SCCM et le H2O 2SLM Toute la maintenance de l'appareil peut être effectuée à l'avant de l'unité Un PDA de type PocketPC (en option) peut être utilisé pour surveiller les conditions de fonctionnement du LSC et pour enregistrer et analyser les journaux d'opération. Débit généré - H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.) Pression de service - Max. 1.33kPa Volume du réservoir de la source 2.7L Méthode de régulation de la chaleur - Contrôle PID par le régulateur de chaleur Méthode de détection de la surface du liquide - Interrupteur flottant Régulateur de débit massique interne Soupape de pression d'air Type de soufflet Matériaux dans la zone de contact avec le liquide et le gaz - SUS316L, PFA Température de fonctionnement - 20 à 35°C Entrée externe - Ouverture/fermeture de la vanne de pression d'air, signal de réglage du débit du régulateur de débit massique (0 à 5 V DC/0 à 100% F.S.), signal d'arrêt d'urgence, signal de zéro automatique (option) Sortie externe Alarme de température, alarme de niveau de liquide H.H., signal de niveau de liquide (H, M, L), signal READY, signal de sortie de débit du régulateur de débit massique (0 à 5 V DC/0 à 100% F.S.), alarme d'arrêt du ventilateur interne du bain thermorégulé, contrôle de la tension de la vanne (option) Source d'alimentation AC 100 V, monophasé 50/60 Hz, 1,5 kVA Autre