Débitmètre massique thermique D500 series

à pression différentiellemassiquepour gaz

Ce module de débit massique insensible à la pression est équipé d'une détection de pression différentielle et d'une vanne piézoélectrique. Le haut niveau de performance du CRITERION D500 lui permet d'être utilisé pour toute une gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs avancés : insensible à la pression, multi-gammes/multi-pressions, fonction d'autodiagnostic G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation), haute précision, réponse rapide, large gamme, et tout métal. Performance d'insensibilité à la pression Une nouvelle fonction d'insensibilité à la pression très performante permet de simplifier le système d'alimentation en gaz Solution multi-gammes, multi-gaz et multi-pressions Les nouvelles fonctions permettent à l'utilisateur de modifier le type de gaz, le débit à pleine échelle et la plage de pression d'alimentation Fonction d'autodiagnostic G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) La fonction avancée de surveillance de l'état des procédés permet aux opérateurs de réaliser leurs propres tests, généralement en trois secondes ou moins, ce qui améliore le rendement Haute précision La précision du débit du gaz de traitement a été améliorée grâce à un ajustement tridimensionnel avancé Réponse rapide Réponse : < 0,8 seconde Il est possible d'obtenir un contrôle précis et stable du débit Plage dynamique Large plage de contrôle : 0.2% de la P.E. à 100% de la P.E. "Récemment, avec l'augmentation de l'application d'un dispositif de semi-conducteur selon l'IoT, les dernières usines de semi-conducteurs se concentrent sur la minimisation du temps d'arrêt de l'appareil. Par conséquent, dans le but de pré-détecter les défaillances des outils à semi-conducteurs et de leurs composants, les paramètres gérés du processus de semi-conducteur sont augmentés et leurs spécifications sont de plus en plus strictes.