La série VC est capable de vaporiser rapidement de l'eau pure ou d'autres sources liquides sans gaz porteur, ce qui vous permet de construire un système de vaporisation plus compact.
HORIBA peut vous fournir un système de vaporisation sur mesure composé de cette série VC et de tous les autres composants dont vous avez besoin :
Un débitmètre massique de liquide pour la mesure du débit,
Un contrôleur de débit massique à haute température pour mesurer le débit de vapeur,
Des vannes, des filtres, des réchauffeurs, etc.
Caractéristiques
Taille compacte
Peut être installé dans diverses positions
Modèles de systèmes de vaporisation de TEOS les plus vendus
Combine SEF ou LF, et la commande numérique est possible
Pas besoin d'un réservoir de barbotage ou d'un réservoir de vaporisation spécial
Gamme de modèles DeviceNetTM
Conformité RoHS.
Débit généré*1 (pendant la génération de TEOS)
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Max. 5.0 Conversion CCM (conversion en phase liquide)
Liquides pris en charge
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TEOS, P(OCH3)3, C6F6
Augmentation de la température
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Max. 150°C
Pression générée*1
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Pression réduite
Intégrité des fuites externes
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1.0x10-8Pa-m3/s
Intégrité des fuites internes
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1.0x10-6Pa-m3/s
Matériau mouillé
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acier inoxydable 316L (surface polie)
Volume de chauffage interne
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AC 100V à 120V 70W(35Wx2)
Capteur de température utilisé
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Thermocouple de type K (CA)
Résistance à la pression
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1.0MPa(G)
Raccord standard
Entrée du liquide : 1/8 pouce VCR type mâle Sortie du gaz : 1/4 pouce VCR type femelle
*1 Varie en fonction du type de liquide.
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*CCM est un symbole indiquant le débit de gaz (ml/min à 25°C, 101,3 kPa).
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