Ce régulateur de débit massique à usage général est doté d'un capteur thermique et d'une électrovanne fiables, ce qui vous permet d'obtenir un contrôle de haut niveau du débit de gaz. Composant polyvalent, le régulateur de débit massique de la série sec-e peut être utilisé dans un grand nombre d'industries.
Le débit de gaz à travers le régulateur de débit massique peut être contrôlé sur une gamme de débits
Équipé d'un capteur thermique et d'une électrovanne fiables
Large gamme de contrôle de débit : de 10 SCCM à 200 SLM (N2)
Convient à une large gamme d'applications
Intégration dans divers systèmes de fabrication, y compris ceux pour : LCD, cellules photovoltaïques, semi-conducteurs de puissance, revêtements
Industries générales : contrôle des gaz de brûleurs, contrôle des gaz atmosphériques, génération de gaz mixtes, mesure du volume de ventilation
Recherche et développement : équipement pour l'évaluation des performances de divers capteurs de gaz et de chambres de combustion ; évaluation liée à la biotechnologie
Laboratoires : contrôleurs de débit de gaz pour diverses expériences, échantillonnage de gaz, etc.
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