Régulateur de débit massique thermique SEC-Z500X series

pour gaznumériqueanalogique

Il s'agit du modèle de régulateur de débit massique numérique le plus vendu par HORIBA. Il dispose de fonctions multi-gammes/multi-gaz permettant aux utilisateurs de changer le type de gaz ou le débit à pleine échelle sur site rapidement et facilement. Avec une grande précision +/- 1,0 % de P.S., une vanne à actionneur piézoélectrique, une réponse à grande vitesse et étant entièrement métallique, ce régulateur de débit massique convient à l'amélioration du rendement des processus et à la simplification de la gestion des pièces. Les communications numériques/analogiques, DeviceNet™ et EtherCAT® sont toutes disponibles. Haute précision ±1,0 % de la P.E. La linéarité de ce contrôleur de débit massique est compensée par une courbe approximative polynomiale et permet d'obtenir une grande précision pour toutes les plages de contrôle de débit. Pour améliorer la précision du gaz réel, les données d'étalonnage de divers gaz de traitement sont mesurées par le système de mesure de gaz standard d'HORIBA STEC. Réponse à grande vitesse Installé avec le "système PID variable", qui peut atteindre une réponse d'une seconde entre deux points de consigne. Le PID variable change continuellement en fonction du réglage du point de débit. Cela permet d'optimiser le facteur PID lorsque le débit à pleine échelle et les gaz sont modifiés. Solution multi-gaz/multi-gammes Le logiciel de configuration permet de modifier les spécifications rapidement et facilement. L'une des principales caractéristiques est que les modifications peuvent être effectuées sans retirer le régulateur de débit massique du panneau de gaz ou de la tuyauterie. Cela réduit le nombre de contrôleurs de débit massique de rechange nécessaires, ce qui permet d'économiser du temps et de l'argent. Le contrôleur de débit massique SEC-Z500X convient à diverses applications ainsi qu'à la fabrication de semi-conducteurs.