UVISEL PLUS : L'ellipsomètre spectroscopique de référence pour la mesure de couches minces
Le nouvel ellipsomètre spectroscopique UVISEL PLUS est équipé technologie d’acquisition pour une mesure plus rapide et plus précise des couches minces.
La nouvelle technologie FastAcq est basée sur une double modulation, parfaitement adaptée à la caractérisation des couches minces d’aujourd’hui. Forte de ce nouveau traitement de données électroniques et d'un monochromateur plus rapide, la nouvelle technologie FastAcq permet d'effectuer une mesure spectroscopique de 190 à 2100 nm en moins de 3 minutes, à très haute résolution.
La conception modulaire et évolutive de l'UVISEL Plus offre un microspot jusqu’à 50 µm, un angle d’incidence variable, une cartographie automatique et une variété d'accessoires. Les futures évolutions du système sont simples à mettre en œuvre, permettant de répondre à un grand nombre d’applications et de moyens budgétaires. Piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi2, l’UVISEL Plus permet aux utilisateurs débutants ou experts d'effectuer des mesures de film mince simplement.
L'UVISEL Plus avec sa technologie FastAcq est l'ellipsomètre spectroscopique le plus polyvalent du marché pour les mesures d'épaisseur de couches minces et de constantes optiques dans les domaines de la recherche et du traitement des matériaux, des écrans plats, de la microélectronique et du photovoltaïque.