Capteur d'oxygène dissous numérique HD-960LR

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Accroître la compatibilité avec les produits chimiques et contribuer à un meilleur taux de rendement dans la fabrication des semi-conducteurs HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. a développé et commencé à vendre le HD-960LR, un nouveau moniteur d'oxygène dissous destiné aux fabricants de semi-conducteurs et d'équipements de fabrication de semi-conducteurs, le 1er juillet 2021. La récente miniaturisation et l'amélioration des performances des semi-conducteurs entraînent une diversification des produits chimiques utilisés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, chacun d'entre eux nécessitant une gestion appropriée. Ce nouveau moniteur d'oxygène dissous surveille en permanence la teneur en oxygène dissous des produits chimiques avec une grande précision dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. L'ajout d'un nouveau mécanisme de capteur interne permet de supprimer la dégradation des électrolytes et étend même la compatibilité à l'eau ammoniacale et à certains solvants organiques. De plus, l'adoption de ce nouveau mécanisme a permis de réaliser le meilleur cycle de remplacement des capteurs de l'industrie, soit environ un an. Le HD-960LR prolonge la durée de vie du capteur d'environ 1,3 fois pour l'eau ultra-pure et de 70 fois pour l'eau ammoniacale par rapport à nos produits conventionnels. Un intervalle plus long entre les remplacements de capteurs contribue à l'efficacité opérationnelle. Le groupe HORIBA continuera à répondre aux besoins des clients afin de contribuer à un taux de rendement plus élevé dans la fabrication des semi-conducteurs. Même le contaminant de niveau nanométrique dans le processus de fabrication des semi-conducteurs a le potentiel de provoquer des dysfonctionnements des semi-conducteurs.