Ellipsomètre spectroscopique UVISEL 2 VUV

L'UVISEL 2 VUV est une nouvelle génération d'ellipsomètre spectroscopique dédiée à la mesure des couches minces sous vide dans l'ultra violet. C'est le seul ellipsomètre sur le marché conçu pour offrir les mesures les plus rapides sur la gamme spectrale 147 - 2100 nm.L'UVISEL 2 VUV est un ellipsomètre hybride, capable de fonctionner dans deux modes : sous azote ou sous vide. Sa conception mécanique est optimisée pour une faible consommation d'azote jusqu'à 6L/min, et permet un chargement et une purge rapides des échantillons en prenant moins de deux minutes. La mesure d'un échantillon se fait en moins de 8 minutes sur la gamme 147 - 850 nm avec un excellent rapport signal sur bruit. L'UVISEL 2 VUV inclut huit tailles de spot idéal pour la mesure de petites zones localisées ou patternées sur les échantillons.L'UVISEL 2 VUV révolutionne le monde des ellipsomètres VUV en réduisant considérablement la consommation d'azote et le temps qu'il faut pour purger et mesurer un échantillon.