Ellipsomètre spectroscopique
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Caractéristiques
- Spécifications
- spectroscopique
Description
Les ellipsomètres HORIBA Scientific in-situ et en ligne sont conçus pour le contrôle de procédés pour la recherche et l’industrie. Du contrôle in-situ en temps réel à la cartographie de l’uniformité des couches sur de grandes surfaces jusqu’à la caractérisation en ligne des films flexibles, nous proposons une large gamme de solutions pour le contrôle qualité des couches minces.
Ellipsomètres In-Situ et En-Ligne
Les ellipsomètres spectroscopiques permettent un contrôle en temps réel des dépôts et gravure des couches minces avec une résolution de l’ordre de l’angstrom. Les ellipsomètres in-situ et en ligne fournissent en temps réel le calcul de l’épaisseur, des constantes optiques et de la composition des couches minces.
Ellipsomètres dédiés aux grandes surfaces pour les industries photovoltaiques et écrans plats
Les ellipsomètres spectroscopiques HORIBA Scientific sont conçus pour fournir une solution de contrôle des couches minces sur de grandes surfaces pour les industries photovoltaiques et écrans plats.
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