Système de préparation d'échantillons automatique

pour microscopie électroniquesous videbenchtop

Ce dispositif est utilisé pour préparer la partie de la plaquette souhaitée pour une analyse avec STEM, TEM, etc. en extrayant un micro-échantillon avec un faisceau d'ions dans la chambre à vide d'un système FIB. Unité de micro-échantillonnage FIB et méthode de micro-échantillonnage FIB Exemple de prélèvement de micro-piliers par FIB Un échantillon de micro-pillier comprenant un point d'analyse est directement découpé dans un dispositif semi-conducteur. Les micro-échantillons sont découpés ou taillés en différentes formes en faisant varier la direction d'incidence de la FIB. Un nouveau système d'évaluation des dispositifs semi-conducteurs est composé d'un système FIB FB2200 et d'un STEM HD-2700 de 200 kV. Le système va de la recherche de points défectueux à l'analyse de la structure à l'échelle sub-nano-métrique en quelques heures.