Microscope électronique à balayage à émission de champ SU8600

pour analyse3Dà émission de champ froid

Le SU8600 inaugure une nouvelle ère de microscopes électroniques à balayage à émission en champ froid à ultra-haute résolution dans la gamme Hitachi EM de longue date. Cette plateforme CFE-SEM révolutionnaire intègre l'imagerie multidimensionnelle, l'automatisation, une stabilité accrue du système, des flux de travail efficaces pour les utilisateurs de tous niveaux d'expérience, et plus encore. Ultra-haute résolution La source d'émission de champ froid à haute luminosité d'Hitachi fournit des images à ultra-haute résolution, même à des tensions ultra-basses. À gauche : particule de zéolite de type RHO à faible tension. Afin de révéler la structure fine en escalier de la surface, l'image a été acquise à 0,8 kV de tension d'atterrissage. Cela permet à la structure très fine des marches de la surface d'être clairement visible (image de droite). Un système de détection intelligent pour l'imagerie ESB à basse tension Image en coupe transversale d'un NAND 3D ; La couche d'oxyde et la couche de nitrure du condensateur sont facilement distinguables dans l'image grâce à la capacité de détection de l'ESB. Imagerie rapide d'ESB : nouveau type de cristal hors colonne BSED (OCD) Grâce à l'utilisation du nouveau cristal de type BSED (OCD)*, le temps d'acquisition de l'image est inférieur à une seconde, mais les interconnexions de la couche inférieure et la structure FET de la SRAM sont clairement visibles. Une expérience utilisateur améliorée grâce à une automatisation avancée L'option logicielle "EM Flow Creator" permet aux utilisateurs de configurer des séquences d'opérations SEM reproductibles. Diverses fonctions du MEB peuvent être assemblées dans la fenêtre de l'EM Flow Creator par une méthode de glisser-déposer, puis enregistrées en tant que recette pour une utilisation ultérieure. Une fois qu'une recette est configurée, la collecte automatisée de données dans les conditions définies peut être effectuée avec une précision et une répétabilité élevées. Interface flexible La configuration à double écran offre un espace de travail flexible et très efficace.