Sonde ionique focalisée NX9000

Dans ce système unique, les colonnes Ga-FIB et FE-SEM sont placées à angle droit l'une par rapport à l'autre. Cette configuration est idéale pour les applications où de grands volumes (tissus biologiques, matériaux avec de grandes structures granulaires, composants semi-conducteurs, etc.) doivent être analysés en 3D sans distorsion et avec la plus haute résolution, même avec des champs de vision très larges. l'analyse EBSD 3D peut également être réalisée avec un échantillon complètement stationnaire, c'est-à-dire sans mouvement de l'échantillon entre la coupe FIB et l'analyse EBSD de la couche.