Sonde de Langmuir ESPion

de potentiel plasmatiquepour spectromètresautomatique

Une sonde de Langmuir avancée pour le diagnostic des plasmas Le contrôle de routine de la caractéristique I-V du plasma par la sonde ESPion de Hiden fournit des informations directes sur la stabilité et la reproductibilité du plasma. L'extrapolation automatique en temps réel des paramètres du plasma fournit des informations détaillées sur les propriétés du plasma qui peuvent être utilisées pour la caractérisation et le contrôle de l'uniformité. Caractérisation du plasma Gravure par plasma et ALE HiPIMS Revêtement de carbone en forme de diamant (DLC) Revêtements par dépôt laser pulsé (PLD) Dépôt par magnétron à courant continu de films SiBCN Le système ESPion utilise Orbital Motion Limited (OML) et Allen Boyd Reynolds (ABR) comme modèles standard d'analyse du plasma. L'entraînement en Z automatique de Hiden permet d'effectuer des mesures résolues dans l'espace dans tout le volume du plasma. Les options de translation standard de l'entraînement en Z sont les suivantes : 300, 600 et 900 mm. taux d'acquisition de 15 scans par seconde avec interface D-O-E pour des analyses automatiques, semi-manuelles ou manuelles Hiden, pionnier de la compensation RF passive L'ESPion a l'impédance de blocage la plus élevée de toutes les unités disponibles dans le commerce 4.25MOhm à 13,56 MHz par rapport à 100kOhm Chaîne multi-inducteurs refroidie au gaz pour le fonctionnement du plasma à haute température La chaîne multi-inductrice refroidie au gaz est remplaçable par l'utilisateur pour l'adaptation à d'autres fréquences La sonde de référence compense les effets des basses fréquences par exemple, déplacement du potentiel du plasma (par exemple, parois anodisées de la chambre) ou bruit (par exemple, alimentation) ESPion : les spécifications du plasma pulsé les plus rapides de toutes les sondes commerciales ESPionSoft contient en standard tous les circuits de déclenchement nécessaires options d'entraînement linéaire automatique de 300, 600 ou 915 mm Vanne d'isolement verrouillée, sondes à 90°, entraînements linéaires et rotatifs combinés disponibles en option Cycle d'auto-nettoyage pour limiter la contamination de la pointe de la sonde