Pour le contrôle de routine du vide
Le logiciel iRGA est une nouvelle application intuitive pour le contrôle de routine du vide. Il a été conçu pour être simple et automatique.
Analyse des gaz résiduels et traitement sous vide
CVD / MOCVD / ALD
Il fournit automatiquement des données de pression partielle pour les gaz et vapeurs résiduels les plus courants, notamment l'hydrogène, l'hélium, l'eau, l'azote, l'oxygène, l'argon et un gaz personnalisé
Le logiciel comprend un nouvel affichage sur tablette où la couleur de fond change en fonction de la condition d'alarme. En outre, le logiciel iRGA comprend une fonction d'alarme permettant d'envoyer des alertes aux E/S internes, au Wi-Fi et par courriel
Choix de l'unité de pression, mbar, Torr, Pascal ou somme normalisée
Moteur d'action pour l'alarme
Comprend un affichage des tendances, un balayage, une détection des fuites et des modes de maintenance
Messages de sortie de déclenchement par e-mail vers les E/S internes (5 désactivées) et/ou vers les dispositifs Wi-Fi
Portée automatique : sur une plage dynamique de 10 décennies avec commutation automatique entre les détecteurs à coupelle de Faraday et à multiplicateur d'électrons
Mode de détection rapide des fuites avec indicateur de flèche vers le haut/bas pour l'augmentation/la diminution du taux de fuite
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