Spectromètre de masse HALO 201 MBE

de processde surveillancepour analyse de gaz

Système d'analyse des gaz pour les applications d'épitaxie par faisceaux moléculaires Les systèmes Hiden HALO sont conçus pour les applications de RGA, d'analyse des gaz et de surveillance des processus, y compris la détection des fuites, l'analyse des tendances et l'étude du vide. Production de semi-conducteurs Piles à combustible L'analyseur spécifique MBE est construit à partir de matériaux compatibles et conçu pour une utilisation prolongée dans les environnements MBE. Il comprend, en standard, un câblage en molybdène à la place du cuivre et une enveloppe de source d'ions résistante à la contamination. Câblage en molybdène à la place du câblage en cuivre pour améliorer la durée de vie du système RGA dans les environnements MBE Enveloppe de la source d'ions résistante à la contamination Double multiplicateur d'électrons Faraday/plaque à canaux Pression partielle minimale détectable jusqu'à 2 x 10-13 mbar Option d'extension thermique pour le fonctionnement du système RGA pendant la cuisson