Spectromètre de masse EQP series

quadripolairepour l'analyse

Systèmes pour la recherche sur les plasmas Spectromètres de masse quadripolaires combinés haute performance pour la caractérisation des plasmas. EQP-6 Gamme de masse de 300 ou 510 amu avec spectromètre de masse quadripolaire à triple filtre de 6 mm pour une large gamme d'applications de recherche sur les plasmas. EQP-9 Systèmes basés sur un quadripôle à triple filtre de 9 mm, offrant la plus large gamme d'options de masse disponible. Options de 50 à 5000 amu pour les mesures de haute stabilité et l'analyse des clusters d'ions. EQP-20 : quadripôle à triple filtre de 20 mm de Hiden avec zone I/zone H commutable pour 20 amu avec une largeur de pic de 0,003 amu, et plage de masse de 200 amu avec une résolution de masse unitaire pour la caractérisation des plasmas d'isotopes d'hydrogène. Analyse des ions et des radicaux Études de gravure/dépôt Implantation ionique Ablation au laser Analyse des gaz résiduels Détection des fuites Couplage plasma-électrode CVD / MOCVD / ALD Les sondes plasma Hiden mesurent certains des paramètres clés du plasma et fournissent des informations détaillées sur la chimie des réactions du plasma. La compréhension détaillée de la cinétique de réaction des ions et des espèces neutres du plasma joue un rôle clé dans le développement de procédés avancés d'ingénierie de surface tels que HIPIMS. La source d'ions à bombardement électronique intégrée permet l'analyse des espèces neutres et, avec l'ajout du mode d'attachement électronique EAMS (electron attachment mass spectrometry), la séparation et l'identification des espèces radicales électronégatives. Tous les instruments de la série EQP comprennent un analyseur d'énergie de champ à 45° à haute transmission pour l'analyse de l'énergie des ions positifs et négatifs jusqu'à 1000 eV.