Spectromètre de masse HMT

quadripolairepour la supervision de process

Un système RGA bimode pour le diagnostic du vide et la surveillance des processus Le spectromètre de masse quadripolaire Hiden HMT est un système RGA bimode unique capable de fonctionner à des pressions allant jusqu'à 5×10-3 mbar sans nécessiter de pompage différentiel. Le fonctionnement à cette pression est obtenu grâce à une combinaison source d'ions/filtre quadripolaire spécialement conçue et à un logiciel qui corrige la non-linéarité de l'abondance. La spécification unique de haute pression rend le HMT idéal pour les applications de surveillance de processus. Analyse des gaz résiduels Traitement sous vide XPS proche de l'atmosphère, APXPS Revêtement optique en couche mince CVD / MOCVD / ALD Le système HMT est destiné à l'analyse des procédés sous vide et à l'analyse des gaz résiduels. Il est essentiel pour le contrôle des conditions de fonctionnement des procédés et pour l'analyse en cours de processus afin de détecter des contaminants inattendus. Le système HMT peut également fonctionner en mode RGA de la même manière qu'un RGA quadripolaire traditionnel. Les détecteurs à double Faraday / multiplicateur d'électrons fournissent des sensibilités de pression partielle dans la gamme 10-13 mbar. Les procédés typiques qui peuvent être surveillés comprennent le CVD, la gravure, le PECVD et le PVD. Un outil RGA de processus pour le dépannage et la surveillance. Mode HMT pour un fonctionnement à haute pression jusqu'à 5×10-3 mbar (pression partielle minimale détectable 5×10-8 mbar) Mode RGA pour un fonctionnement à haute sensibilité à P < 10-4 mbar (pression partielle minimale détectable 2 x 10-11 mbar) Gamme de masse de 100 amu, interface de contrôle à distance (PC) via le logiciel MASsoft Professional PC Gamme de masse de 100 amu, interface de contrôle à distance (PC) via le logiciel PC MASsoft Professional Stabilité (moins de ±1% de variation de hauteur sur 24 h) Contrôle par le logiciel MASsoft via RS232, USB ou plusieurs systèmes via Ethernet LAN