Il s'agit d'un système de levage et de stockage automatique qui transfère les wafers FOUP&FOSB à chaque étage.
Spécifications
Course de levage : Max 60m
Vitesse de levage : 360m/min
Temps de chargement des fourches : dans les 3 secondes
Acc/Dec : 2m/sec²
Vibration : Pas plus de RMS 0.8G
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