Système de stockage automatique vertical

pour cassettepour plaquesavec contrôle constant de la température et de l'humidité

Ce système de stockage automatique est destiné au système logistique propre des semi-conducteurs, qui stocke et trie les plaquettes FOUP, FOSB, POD et les cassettes. Il peut être mis en œuvre sous différentes formes, telles que le type de chambre, le type de rack et d'autres, qui répondent aux spécifications requises des différents processus de semi-conducteurs. Spécifications Propreté de l'environnement : Classe1 ~ Classe1000 Vitesse : 1.5m/sec Acc/Dec : 2.5m/sec² Vibration : Pas plus de 0,5 G RMS Purge : Purge PN2 en permanence Contrôle de l'environnement : humidité, température, pression, concentration d'oxygène