Cette machine est conçue pour améliorer l'efficacité des cellules en appliquant une couche de passivation sur la face avant de la plaquette de silicium après l'isolation des bords et l'élimination du PSG.
Spécifications
Haut débit : 14 400 plaquettes/heure (2 400 plaquettes/bateau)
Durée du cycle : 60 minutes
Temps de disponibilité : 99 %
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