Cette machine est conçue pour doper le phosphore et le bore afin de former la "jonction p-n", un composant essentiel des cellules solaires en silicium cristallin.
Spécifications
POCl₃
Haut débit : 7 854 plaquettes/heure (2 400 plaquettes/bateau)
Temps de cycle : 110 min
Temps de fonctionnement : 99%
BBr₃
Haut débit : 3 600 plaquettes/heure (2 400 plaquettes/bateau)
Durée du cycle : 240 min
Temps de disponibilité : 99
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