Cet équipement augmente l'efficacité en déposant une fine couche d'Al2O3 sur la surface avant de la plaquette d'une cellule solaire cristalline par dépôt thermique par couche atomique (ALD) pour former une couche de passivation.
Spécifications
Haut débit : 12 800 plaquettes/heure (1 600 plaquettes/bateau)
Durée du cycle : 30 minutes
Temps de disponibilité : 97%
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