Machine de dépôt PECVD FALO

de couches mincespour applications photovoltaïques

Il convient à la croissance de l'alumine dense et d'autres matériaux de film de passivation arrière dans le processus de batterie au silicium cristallin à haut rendement. Commutation continue entre différents films ; Soutenir le mécanisme de poussée du bateau aux deux extrémités pour éliminer la gigue, améliorer la vitesse, augmenter la charge et améliorer considérablement la fiabilité (brevet). Le temps d'entrée et de sortie du bateau ne doit pas dépasser 20 secondes (sans compter l'entrée et la sortie du bateau) ; Mécanisme de double porte de four de forme spéciale pour réduire les pertes de chaleur (structure de double porte de four brevetée) ; Technologie d'électrode de bateau en graphite : contact de surface de l'électrode électrique, les électrodes avant et arrière sont complétées, et l'électrode de queue est réglable à l'extérieur du tube du four ; Refroidissement rapide du corps du four : la dernière technologie brevetée est adoptée, de sorte que la température du corps du four peut être rapidement réduite à la température requise, et la vitesse de refroidissement peut être augmentée de plus de 25 %, ce qui améliore considérablement l'uniformité de la température dans le tube du four ; Mode de dissipation thermique parallèle breveté de la position de stockage du bateau : améliore l'effet de refroidissement, réduit le temps de refroidissement de plus de 15 %, évite le fond et l'entrée d'air par l'avant de la console afin d'améliorer la propreté interne de la console ; Outil de levage auxiliaire du tube de quartz, qui réduit considérablement la difficulté d'installation, d'entretien et de remplacement du tube de quartz ; La compacité du film est supérieure à celle du plasma indirect ; L'effet de passivation est supérieur à celui de l'ALD.