Le PHEMOS-X est un microscope à émission à haute résolution qui permet de localiser les défaillances dans les dispositifs semi-conducteurs en détectant les faibles émissions de lumière et de chaleur causées par les défauts.
Deux caméras à très haute sensibilité peuvent être montées
La couverture de différentes gammes de longueurs d'onde de détection pour l'analyse d'émission et l'analyse thermique permet de sélectionner facilement une technique d'analyse adaptée à l'échantillon et au mode de défaillance.
Possibilité de monter jusqu'à 5 sources lumineuses pour OBIRCH, DALS et EOP
Platine de haute précision conçue pour les appareils avancés
Le PHEMOS-X superpose l'image d'émission à une image de modèle à haute résolution pour localiser rapidement les points de défaut.
La fonction d'amélioration du contraste rend l'image plus claire et plus détaillée.
Fonction d'affichage
Annotations : Des commentaires, des flèches et d'autres indicateurs peuvent être affichés sur une image à l'endroit souhaité.
Affichage de l'échelle : La largeur de l'échelle peut être affichée sur l'image à l'aide de segments.
Affichage de la grille : Des lignes de grille verticales et horizontales peuvent être affichées sur l'image.
Affichage des vignettes : Les images peuvent être stockées et rappelées sous forme de vignettes, et les informations relatives à l'image, telles que les coordonnées de la scène, peuvent être affichées.
Affichage en écran partagé : Les images de motifs, les images d'émission, les images superposées et les images de référence peuvent être affichées simultanément dans un écran à 6 fenêtres.
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