Miniature, haute performance
Miroir MEMS à balayage laser bidimensionnel à commande électromagnétique
Le S13989-01H est un miroir à commande électromagnétique qui intègre notre technologie unique de MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques). Le dispositif a été réduit en plaçant l'aimant sous le miroir. Une grande fiabilité a été obtenue grâce à l'utilisation d'un boîtier hermétique. Le courant électrique flowing dans la bobine entourant le miroir produit une force de Lorentz basée sur la règle de Fleming qui entraîne le miroir. Les miroirs MEMS de Hamamatsu offrent un grand angle optique deflection et un miroir haut reflectivity.
Caractéristiques
- Fonctionnement à faible courant
- Taille ultra-miniature
- Grand angle de déviation optique
Spécifications
Type : balayage de trame à 2 axes
Mode de fonctionnement : Axe rapide : Mode non linéaire (mode résonant)
Axe lent : Mode linéaire
Taille du miroir : φ1.23 mm
Matériau des miroirs : aluminium
Angle de déflexion optique : Axe rapide : ±20
Axe lent : ±12°
Fréquence d'entraînement (max.) : Axe rapide : 29,3 kHz (typ.)
Axe lent : 100 Hz
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