Microscope infrarouge C10506-06-16

d'inspectioninverséproche infrarouge

Le microscope à émission inversée est un système d'analyse arrière conçu pour identifier les emplacements de défaillance en détectant la lumière et la chaleur émises par les défauts des dispositifs à semi-conducteurs. La détection du signal provenant de l'arrière facilite l'utilisation de la sonde et de la carte de sonde à la surface de la plaquette, et le réglage de l'échantillon peut être effectué en douceur. La plateforme, qui permet de monter plusieurs détecteurs et lasers, permet de sélectionner le détecteur optimal pour effectuer diverses méthodes d'analyse telles que l'analyse de l'émission de lumière et de la génération de chaleur, l'analyse IR-OBIRCH, et d'autres ; de plus, elle permet d'effectuer une analyse dynamique efficace par connexion du testeur. ●iPHEMOS-MP Support pour la mesure d'une puce unique à une plaquette par le montage d'un prober de 300 mm. Possibilité de contact de l'aiguille multibroche par la carte de la sonde et d'observation de l'échantillon sur la carte PC. L'analyse dynamique avec le lecteur de test LSI est également possible par connexion par câble. Caractéristiques - Deux caméras à ultra-haute sensibilité pouvant être montées pour l'analyse des émissions et l'analyse thermique - Des lasers jusqu'à 3 longueurs d'onde et une source de lumière de sonde pour l'EOP peuvent être montés - Multi-plateforme capable de monter plusieurs détecteurs - Lentille macro à haute sensibilité et jusqu'à 10 lentilles adaptées à chaque longueur d'onde de sensibilité du détecteur Options - Comprend un système de balayage laser - Analyse des émissions avec une caméra infrarouge proche à haute sensibilité - Analyse thermique avec une caméra à infrarouge moyen à haute sensibilité - Analyse IR-OBIRCH - Analyse dynamique par irradiation laser - Analyse de l'observation de la Terre - Analyse haute résolution et haute sensibilité avec NanoLens - Se connecte à la navigation CAD - Se connecte au testeur LSI