Système de mesure optique C12562-04

d'épaisseurà calibre universelpour film

Le système de mesure d'épaisseur optique NanoGauge C12562 est un système de mesure d'épaisseur de film sans contact, compact et peu encombrant, conçu pour être facilement installé dans les équipements là où c'est nécessaire. Dans l'industrie des semi-conducteurs, la mesure de l'épaisseur du silicium est essentielle en raison de la diffusion du silicium traversant par la technologie ; et dans l'industrie de la production de films, les films de couche d'adhésion sont de plus en plus fins pour répondre aux spécifications des produits. Ces industries exigent donc désormais une précision encore plus grande dans les mesures d'épaisseur, allant de 1 μm à 300 μm. Le C12562 permet d'effectuer des mesures précises sur une large gamme d'épaisseurs allant de 500 nm à 300 μm qui comprennent l'épaisseur du revêtement de film mince et du substrat de film ainsi que l'épaisseur totale. Le C12562 offre également des mesures rapides jusqu'à 100 Hz, ce qui le rend idéal pour les mesures sur les lignes de production à grande vitesse. Caractéristiques - Effectue des mesures allant de l'épaisseur de la couche mince à l'épaisseur totale - Réduction de la durée du cycle (max. 100 Hz) - Déclencheurs externes améliorés (permettant une mesure à grande vitesse) - Une mesure simplifiée est ajoutée au logiciel - Capable d'effectuer des analyses de surface - Mesure précise de la fluctuation du film - Analyser les constantes optiques (n, k) - Contrôle externe disponible Spécifications Numéro de type : C12562-04 Gamme d'épaisseur de film mesurable (verre) : 500 nm à 300 μm*1 Reproductibilité des mesures (verre) : 0,02 nm*2 *3 Précision de mesure (verre) : ±0,4 %*3 *4 Source lumineuse : Source lumineuse halogène Taille du spot : Environ φ1 mm*3 Distance de travail : 10 mm*3 Nombre de couches mesurables : Max. 10 couches Analyse : analyse FFT, analyse de l'ajustement, analyse des constantes optiques Temps de mesure : 3 ms/point*5 Forme du connecteur de fibres : FC