Système de mesure de la réflectance C11295

de lumièred'épaisseuroptique

Le système de mesure d'épaisseur Multipoint NanoGauge C11295 est un système de mesure d'épaisseur de film utilisant l'interférométrie spectrale. Il est conçu pour mesurer l'épaisseur des films dans le cadre du processus de fabrication des semi-conducteurs, ainsi que pour le contrôle de la qualité des APC et des films qui sont montés sur les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Il permet une mesure multicanaux en temps réel, qui fournit une mesure simultanée multicanaux et multipoints sur les surfaces des films. En même temps, il peut également mesurer la réflectivité (transmittance), la couleur des objets et leurs changements dans le temps. Caractéristiques - Mesure simultanée de l'épaisseur du film jusqu'à 15 points - Fonctionnement sans référence - Mesure stable à long terme par correction de la fluctuation de l'intensité lumineuse - Fonction d'alarme et d'avertissement (succès/échec) - Mesures de la réflectance (transmission) et du spectre - Grande vitesse et grande précision - Mesure en temps réel - Mesure précise de la fluctuation du film - Analyser les constantes optiques (n, k) - Contrôle externe disponible Spécifications Numéro de type : C11295-XX*1 Gamme d'épaisseur de film mesurable (verre) : 20 nm à 100 μm*2 Reproductibilité des mesures (verre) : 0,02 nm*3 *4 Précision de mesure (verre) : ±0,4 %*4 *5 Source lumineuse : Source lumineuse au xénon *6 Longueur d'onde de mesure : 320 nm à 1000 nm Taille du spot : Environ φ1 mm*4 Distance de travail : 10 mm*4 Nombre de couches mesurables : Max. 10 couches Analyse : analyse FFT, analyse d'ajustement Temps de mesure : 19 ms/point*7 Forme du connecteur de fibres : SMA Nombre de points de mesure : 2 à 15 Fonction de contrôle externe : Ethernet Interface : USB 2.0 (Unité principale - Ordinateur) RS-232C (Source de lumière - Ordinateur) Alimentation électrique : AC100 V à AC240 V, 50 Hz/60 Hz